摘要: 通過自制的鋁電解電容器模型，利用氧化鋁薄膜具有的介電性能，通過電容量法可以準(zhǔn)確快捷地計(jì)算氧化膜的厚度，并通過顯微直接觀察法、電解電量法、伏安法進(jìn)行了驗(yàn)證。得到如下結(jié)論：所用鋁條樣品天然氧化膜的厚度約為8.0 nm；在H3PO4溶液中形成的氧化膜厚度隨氧化時(shí)間變化為50～80 nm；阻檔層生成率1.219。
關(guān)鍵詞: 電子技術(shù)；陽(yáng)極氧化鋁；氧化膜；介電性能；厚度
中圖分類號(hào): O646.6 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A 文章編號(hào):1001-2028（2005）12-0064-03
(1. Collega of Materials Science and Engineering,
Key words: electronic technology; anodic aluminum oxide (AAO)；oxide film；dielectric property；thickness
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